Нелепая конструкция самой важной машины в мире

ASML — голландская компания, производитель установок фотолитографии (фотолитографов) для микроэлектронной промышленности. Задача фотолитографа — перенести рисунок интегральной схемы с фотошаблона на полупроводниковую пластину, покрытую светочувствительным материалом (фоторезистом). Особенности установок ASML: -Работают в глубоком и экстремальном ультрафиолете. -Используют сложную оптическую систему. -Могут использовать не шаговый, а сканирующий режим работы (сканеры). Принцип работы В установках ASML происходит процесс оптического проецирования специальных частично прозрачных шаблонов (масок) на поверхность полупроводниковой пластины. Для каждой пластины эта процедура повторяется несколько десятков раз. Некоторые особенности работы EUV-машин от ASML: Ультрафиолетовый свет пропускается через маску-трафарет, а затем с помощью системы зеркал уменьшается и проецируется на малую область пластины. На всех участках, где свет попал на пластину, резист под действием ультрафиолета модифицируется — таким образом, рисунок маски «отпечатывается» на её поверхности. Затем пластина сдвигается, и процесс повторяется сотни раз до её полного заполнения этими отпечатками. Виды Некоторые модели установок фотолитографии ASML: TWINSCAN NXE:3400B — первая серийная EUV-установка, применяется для реализации техпроцессов «7 нм» и «5 нм». TWINSCAN NXE:3600D — используется для выпуска «5-нм» и «3-нм» СБИС. TWINSCAN NXE:3800E — двухступенчатая EUV-система, поддерживает высокообъёмное...