Выступление главного конструктора АО «НПП «ЭСТО» Виноградова Георгия Константиновича

Аватар автора
АО НПП ЭСТО
Тема: "Технологический модуль критического травления диэлектриков 65-32 нм" Содержание: 1. Развитие плазмохимических технологий 2. Генератор плазмы с локальным контролем химии и физики процесса Groovy-ICP 3. Модуль критического травления диэлектриков XORS 200A 4. Перспективы линейки плазменного травления и возможности импортозамещения

0/0


0/0

0/0

0/0