НИКА-154 Установка вакуумного двустороннего напыления | ООО "ЛВТ+" г.Зеленоград

НИКА-154 Установка вакуумного двустороннего напыления Предназначена для двухстороннего магнетронного напыления контактных металлических слоев Cr, Ni, Ti, Ag, Cu толщиной 70-500 мкм на подложки двух типоразмеров: ∅76 мм - 45 шт. ∅100 мм - 30 шт. Все технологические устройства размещаются на заднем фланце. Загрузка проводится с переднего (рабочего) фланца. Система управления оснащена: системой контроля толщины напыленного слоя (по значению удельного сопротивления) по свидетелю сопротивления; датчиком температуры нагрева подложек; позиционируемой заслонкой. Все процессы автоматизированы, управление с сенсорной панели компьютера. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен. Производитель : ООО "ЛВТ+", г.Зеленоград, Россия Тел.: + 7(499) 346-06-67 Тел.: + 7(499) 346-20-20