Плазмохимическое травление танталата лития для формирования элементов топологии и микросборки

Аватар автора
Электро-эксперименты
Результаты исследований влияния температуры, мощности, давления и газовых добавок на скорость плазмохимического травления танталата лития в плазме SF6 и режимов микросборки на подложках из LiTaO3 Докладчик: Коняев Иван Васильевич, ведущий инженер АО "НИИЭТ"

0/0


0/0

0/0

0/0