Проект установки для нанесения покрытий методом газофазного осаждения

Покрытия, наносимые на экспериментальной установке, могут быть использованы для модификации свойств поверхности с целью улучшения различных эксплуатационных характеристик деталей. Реактор для нанесения покрытий содержит три испарителя (генератора) соединений-прекурсоров тугоплавких металлов, три испарителя для восстановителя, печи для нагрева рабочих образцов катушкой индукционного нагревателя, сопловой блок с вентиляторами для смешения потоков реагентов, труб для ввода реагентов и вывода продуктов реакции. Установка содержит внешний блок дозирования реагента, включающий в себя испарители для дозирования концентрации жидких реагентов.