Mems

Здравствуйте, друзья! Сегодня мы поговорим с Вами об миниатюрных электромеханических устройствах. Что же это такое? Микроэлектромеханические устройства (или миниатюрные электромеханические системы, МЭМС, microelectromechanical systems) – это системы, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС представляют собой чип, в котором содержатся движущаяся механическая система и электронная система, предназначенная для обработки данных. МЭМС имеют размер до одного миллиметра, но в их состав входят электрические и механические компоненты, размер которых варьируется от одного микрометра до нескольких сотен микрометров. МЭМС могут быть реализованы с использованием различных материалов и технологий производства, выбор которых будет зависеть от создаваемого устройства. Основными материалами, используемыми при производстве МЭМС, являются кремний и полимерные материалы. Кремний является материалом, используемым для создания большинства интегральных схем, используемых в потребительской электронике. Распространенность кремния делает его привлекательным для изготовления МЭМС. Недостатком кремния является то, что он является сложным и сравнительно дорогим материалом. Можно выделить два подхода в изготовлении МЭМС: аддитивный (слои выращиваются на исходной подложке) и субтрактивный (из подложки вытравливается необходимая структура). Особенностью изготовления МЭМС является использование «жертвенных слоев», которые используются в процессе изготовления МЭМС, а...