Устройство электронного микроскопа

Электронный микроскоп — прибор для получения увеличенных изображений объектов с помощью пучка электронов вместо видимого света. Благодаря очень короткой длине де Бройля электронов он даёт гораздо более высокое разрешение, чем оптические микроскопы. Основные типы - Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ, TEM) — пропускает пучок электронов через тонкий образец и формирует проекционное изображение внутренней структуры. - Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ, SEM) — сканирует поверхность образца сфокусированным пучком электронов и регистрирует электроны, вылетающие с поверхности, для получения топографического и композиционного изображения. Ключевые компоненты и принципы работы - Источник электронов — термоэлектронная нить или полевой эмиттер. Электроны ускоряются в сильном электрическом поле до напряжения ускорения (обычно 1–300 кВ). - Электронная оптика — электромагнитные линзы и апертуры фокусируют и формируют пучок электронов (аналог оптических линз для света). - Образец — для ПЭМ образец должен быть очень тонким (несколько десятков нанометров); для СЭМ поверхность обычно покрывают тонким слоем проводящего материала, если образец диэлектрический. - Вакуумная система — электронный пучок распространяется в высоком или ультравысоком вакууме, чтобы избежать рассеяния на молекулах газа. - Детекторы - В ПЭМ детектируют прошедшие через образец электроны и формируют изображение по амплитуде и фазе дифракции; используют также энергодисперсионную спектроскопию (EDS) для...