27-я научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов ВАКУУМНАЯ НАУКА И ТЕХНИКА

На конференции, прошедшей 14-19 сентября 2020 г. в Судаке, генеральный директор ООО "Элточприбор" Сажнев С.В. выступил с докладом на тему: "Прецизионная подача газов в вакуумный реактор технологического оборудования с термокоррекцией внешней среды". В данном видео доклад представляет соавтор - ведущий инженер-исследователь Князев В.И., к.ф.-м.н. По результатам этой работы в 2020 году выпущен новый цифровой регулятор массового расхода газа ООО “Элточприбор” РРГ-20 с тепловым преобразователем и индивидуальной темокоррекцией внешней среды. Особенности: • Высокая стабильность выходного сигнала • Газы: чистые и особочистые газы нейтральные, агрессивные, токсичные, взрыво- и пожароопасные газы • Герметичность регулятора: 10-9 Па*м3/с • Ряд диапазонов регулирования от 0,36 до 1800 нл/час (верхние пределы регулирования Qвп по азоту) • Электропитание от стабилизированного источника постоянного тока +15В • Протокол обмена Modbus RTU.